华南理工大学集成电路土耳其里拉兑换人民币/微电子土耳其里拉兑换人民币依托国家专项、广东省和国际校区建设的大力支持，已建成全面开放、国内领先的微纳电子平台。建设总面积3200平方米，其中超净环境1729平方米，主要科研设备价值约3.78亿元。面向射频芯片、智能传感、人工智能芯片、光电集成、功率电子等多学科领域研发需求，平台拥有设备282台/套，其中大型设备（≥40万元）151台/套，包括：
1.微纳电子加工设备（47台）：拥有光刻图形化设备（电子束光刻机、激光直写光刻机、FIB、双光子光刻机和双面对准光刻机）、刻蚀设备（电感耦合等离子体刻蚀、反应离子刻蚀机、离子束刻蚀机和气相干法刻蚀设备）、薄膜沉积设备（磁控溅射、电子束蒸发、ALD、MOCVD、压电薄膜沉积、MPECVD金刚石沉积、LPCVD、PECVD、PLD）等全流程微纳加工设备；
2.芯片测试设备（49台/套）：具有国际领先的覆盖射频-毫米波-太赫兹宽频段的芯片测试设备（110GHz网络分析仪、信号发生器、信号分析仪、高频示波器、频谱分析仪、超宽带MIMO系统、5G无线测试平台、毫米波负载牵引系统、微波探针台等）；
3.微纳器件测试设备（35台/套）：可全面探测微纳器件的电学、光学、磁学、声学等多物理场作用下的综合性能（半导体参数分析仪、深能级瞬态谱、光电流测试系统、红外探测设备、功率器件测试设备、噪声分析仪、低温磁场高频测试系统、忆阻器性能测试系统等）；
4.微系统封装设备（10台/套）：配置了高端的晶圆级对准和封装设备（双面对准光刻机、晶圆键合机、化学机械抛光设备、引线键合设备、晶圆切割设备），为系统集成技术的研发提供硬件支撑；
5.微纳电子仿真软件和设备（10台/套）：配置了先进的软件和硬件支撑平台（DTCO设计平台、组合逻辑等价验证工具、数字芯片前端/后端设计工具、FPGA开发板、硬件仿真加速平台），可有效支撑集成电路设计领域的研发需求。